小型離子濺射儀
簡(jiǎn)要描述:JS-600小型離子濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。
- 產(chǎn)品型號(hào):JS-1600
- 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間:2024-03-21
- 訪 問 量:3159
JS-1600小型離子濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。
用戶可以根據(jù)自己的需要自行選擇不同的真空條件,濺射電流。大尺寸的真空腔體設(shè)計(jì),滿足大樣品的濺射需求。標(biāo)配一片金靶,純度為99.999%,為獲得高質(zhì)量的金膜提供了好的基礎(chǔ)。
JS-1600小型離子濺射儀主要技術(shù)指標(biāo)如下:
1.靶(上部電極):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999%
2、真空室:直徑:160mm,高:120mm
3.樣品臺(tái)(下部電極):濺射面積:直徑:50mm
4.工作真空: 8×10-2—2×10-1 mbar
5.離子電流表:50mA
6.數(shù)顯計(jì)時(shí)器:根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時(shí)間。
7.電壓:-1600DVC
8.機(jī)械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,
10.微型真空氣閥: 配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié),可連接φ3mm軟管。
11. 外型尺寸:360mm×300mm×380mm
備注:JS-600小型離子濺射儀可適用的靶材:金、鉑、銀及氧化鋅
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