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手套箱適用離子濺射儀與傳統(tǒng)離子濺射設(shè)備相比有哪些特點(diǎn)?

發(fā)布時(shí)間: 2024-09-14  點(diǎn)擊次數(shù): 290次
  手套箱適用離子濺射儀是一種結(jié)合了手套箱技術(shù)的離子濺射設(shè)備。其核心原理是利用高能粒子轟擊靶材,使靶材表面的原子或分子獲得足夠的能量并脫離靶材,隨后在基片上沉積形成薄膜。
 

 

  與傳統(tǒng)離子濺射設(shè)備相比,手套箱適用離子濺射儀具有以下顯著特點(diǎn):
  1.高度集成化:將離子濺射系統(tǒng)與手套箱技術(shù)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的一體化設(shè)計(jì)。這種設(shè)計(jì)不僅簡(jiǎn)化了操作流程,還減少了外界環(huán)境對(duì)設(shè)備性能的影響。
  2.高真空度:手套箱內(nèi)部可以保持高真空度,有效避免了空氣中的氧氣、水蒸氣等雜質(zhì)對(duì)鍍膜過(guò)程的干擾,提高了鍍膜質(zhì)量。
  3.精確控制:配備了先進(jìn)的控制系統(tǒng),可以精確控制離子束的能量、角度和流量等參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)鍍膜過(guò)程的精確控制。
  4.廣泛適應(yīng)性:該設(shè)備適用于各種類型的基片和靶材,如金屬、半導(dǎo)體、陶瓷等,且不受基片形狀和尺寸的限制。
  5.安全可靠:手套箱的設(shè)計(jì)有效防止了有害物質(zhì)的泄漏,保障了操作人員的安全。同時(shí),設(shè)備還配備了多種安全保護(hù)功能,如過(guò)流保護(hù)、過(guò)熱保護(hù)等。
  使用手套箱適用離子濺射儀進(jìn)行鍍膜時(shí),需要遵循以下步驟:
  1.準(zhǔn)備工作:根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求選擇合適的基片和靶材,并進(jìn)行必要的預(yù)處理。同時(shí),檢查手套箱內(nèi)部的清潔度和真空度是否符合要求。
  2.安裝設(shè)備:將離子濺射系統(tǒng)安裝在手套箱內(nèi)部,并連接好電源和信號(hào)線。注意確保設(shè)備安裝牢固可靠,避免在后續(xù)操作中出現(xiàn)晃動(dòng)或脫落。
  3.抽真空:?jiǎn)?dòng)手套箱的真空泵系統(tǒng),將內(nèi)部空氣抽出至高真空狀態(tài)。在此過(guò)程中,可以通過(guò)觀察窗觀察手套箱內(nèi)部的情況,確保無(wú)異常情況發(fā)生。
  4.設(shè)定參數(shù):根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)定離子束的能量、角度和流量等參數(shù)。這些參數(shù)可以通過(guò)設(shè)備的控制系統(tǒng)進(jìn)行精確調(diào)節(jié)。
  5.開始鍍膜:?jiǎn)?dòng)離子濺射系統(tǒng),使高能粒子轟擊靶材并在基片上沉積形成薄膜。在此過(guò)程中,可以通過(guò)觀察窗實(shí)時(shí)觀察鍍膜情況,并根據(jù)需要調(diào)整參數(shù)以優(yōu)化鍍膜效果。
  6.結(jié)束鍍膜:當(dāng)達(dá)到預(yù)定的鍍膜厚度或時(shí)間后,停止離子濺射系統(tǒng)的運(yùn)行。關(guān)閉真空泵系統(tǒng)并緩慢恢復(fù)手套箱內(nèi)部的壓力至常壓狀態(tài)。最后取出樣品并進(jìn)行后續(xù)處理和分析。

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